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    金相干涉显微镜是依据什么原理进行工作的?

    发布时间: 2020-03-12  点击次数: 111次
           金相干涉显微镜是干涉仪和显微镜的组合,将被测件和标准光学镜面相比较,用光波波长作为尺子来衡量工作表面的的不平深度。由于光洁度是微观不平深度,所以用显微物镜进行高倍后再进行观察和测量。
      金相干涉显微镜的工作原理:
      金相干涉显微镜为了获得干涉,必须使光源S发出的光束,经分光板T后分为两束。一束透过分光板T、补偿板T1、显微物镜O2后射向被测工件P2的表面。由P2反射后经原路返回至分光板T,再在上反射,射向观察物镜O3。另一束由分光板反射后通过物镜O1射到标准镜P1,经过P1反射,再经过物镜O1并透过分光板T,也射向观察目镜O3,它与一束光线相遇,产生干涉,通过目镜O3可以看到定位在工件表面的干涉条纹。
      干涉显微镜的分光板T,补偿板T1,物镜O1、O2以及标准镜P1等要经过精密加工,如果被测工件表面也是同样精密,那么就可以得到没有曲折的直接干涉条纹。
      调节P1、P2至物镜O1、O2的距离,使目镜视场中能清晰地看到P1和P2表面的象,同时物镜O1、O2离分光板分光点的光学距离相等时,说明干涉仪的二臂之长相等,视场中出现零次干涉条纹,再其次,对称分布着数条彩色条纹。
      使P2作高低方向微量移动时,干涉显微镜视场中干涉条纹也作相应的位移。P2的移动两于视场中干涉条纹的移动量ΔN有确定的关系,t等于λ/2,视场中干涉条纹移动一个条文间隔即原来零次条纹移到1次条纹的位置,原来1纹移到2次条纹的位置……
      如果上有一凹穴或凸缘,其凹(凸)的深度为,那么在视场中此凹(凸)部分成像处的干涉条纹,也相应弯曲,弯曲量ΔN(单位为条纹间隔数量,几个条纹或几分之一个条纹间隔),t也ΔN与上述一样有确定的关系,即t=(λ/2)ΔN2,因此测量时与干涉条纹的视见宽度无关。干涉显微镜就是用测量视场中干涉条纹的弯曲量,反过来推算出零件表面的不平深度。
      金相干涉显微镜上的干涉滤色片,使白光过滤后,只有半宽度很小的这部分单色光通过干涉显微镜,这种单色光有较好的相干性,因此在使用时为寻找干涉条纹提供了放便,同时,这种单色光有确定的波长值,因而能提高测量精度。
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